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如何對石墨做煆燒加工
輝縣市金(jīn)鑲玉石(shí)墨模具製品有限公司(sī)小編給大家說說如何對石墨(mò)做煆燒加工,下麵就是細致的步驟,一同來看看吧。
一(yī)、工作分配
提供高(gāo)純度的石墨卡瓣和石墨基座,為消費*太陽能級多晶矽奠定根底。
二、職位的職責
1、煆(duàn)燒石墨*件的製備
2、石墨*件的清(qīng)洗
3、石墨*件(jiàn)的枯燥
4、石墨*件的(de)煆燒
三、流程原理
石墨加工中(zhōng)揮發性物質經過高溫煆燒除去,以避免雜質(zhì)汙染多晶矽在複原和拉伸(shēn)矽芯。
四、工藝指標
1、真空泵低真空至30格柵(1x 10-3齒輪)
2、擴散泵高真空到90格柵(1x 10-3齒輪)
3、焙燒爐高壓啟動後20分鍾升壓,每次0.5V。
4、煆燒爐(lú)溫度至1550℃
五、停車(chē)及緊(jǐn)急停車程序及操作辦法(fǎ)
1、沸騰冷卻水閥
2、翻開真空泵
3、閉式擴散泵製動刀、預熱擴散泵
4、當低真空到達30格(gé)柵(1x 10-3齒輪)時(shí),翻開(kāi)真空閥,關閉低真(zhēn)空閥。
5、翻開(kāi)高真空閥,高(gāo)到90格(gé)柵(shān)(1x 10-3齒輪)
6、翻開高壓開關,20分鍾後升高電壓。當真空度等於(yú)80-90格時,壓力增加到8(x5),爐溫為1550℃,恒溫2-3小時。
7、中(zhōng)止:遲(chí)緩冷卻,通常10分鍾,中止高壓電源,中止擴散泵,關閉真空閥,中止爐子,關(guān)閉冷卻水閥。
8、拆爐:拆爐(lú)後(hòu),戴好口罩和高純手(shǒu)套,將石墨件拆下,用潔淨的塑料袋密封。
9、緊急停車:先停真空(kōng)泵,然後停電,*後停水。
六、石墨加工常見事故的(de)剖析與處置
(1)停水:立刻關閉真空泵閥(fá)門,然後關閉電源。
(2)停電:關閉真(zhēn)空泵閥門,等候石墨爐和擴散泵溫(wēn)度降至室溫,然後(hòu)關(guān)閉電源,*後關閉(bì)循環(huán)水閥門。
(3)不能(néng)抽真空(kōng):停爐檢查密封件的密封狀況。
七 連鎖、報警
水壓、溫度、真空、電壓和電流
八、設備清單
循(xún)環水係統、真空係統、擴散泵、石(shí)墨煆燒爐
九、石墨加工工藝流程
石墨清洗→裝爐→抽(chōu)真空→開(kāi)爐→升溫→恒溫→降溫
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