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如何延長石墨熱場器件的壽命呢?
熱場就是熱係統。在機械中一般指單(dān)晶爐熱場,就是單晶爐中(zhōng)的熱係統。單晶爐是一種在(zài)惰性氣體(氮氣(qì)、氦氣為主)環境中,用石墨(mò)加熱(rè)器將多晶矽等多晶材料熔化,用直(zhí)拉法生長無(wú)錯位單晶的設備。石墨熱場簡單的說就是用來拉單晶矽的整套石墨加熱係統。*常見的是18寸的石墨熱場。
眾所周知,熱(rè)場的組成部分如加熱器(qì)、三瓣堝、石墨托(tuō)、熱屏等均由石墨加工而成。在生產過程中,經常能碰到加熱器件損壞的(de)現象,那麽(me)石墨熱場器件損壞的原因是什麽,應該采取什麽樣的措施來(lái)延長(zhǎng)石墨熱場器件的壽命呢?石墨器件(jiàn)的損壞,主要有人為和劣化(huà)兩個方麵的原(yuán)因。人為方麵(miàn)隻要加強(qiáng)管理,強化員工防範意識,就(jiù)可(kě)以將損失降到*低(dī)點。這裏主要討論劣化(huà)。
*先我們來了解石墨的(de)有關特(tè)性,1.耐高溫性,石墨的熔(róng)點極高,在真空為3850度,在低壓下升華,升華溫度為2200度,與一般材料不同,當溫度升高時石墨不但不軟化,強度反而增高,在(zài)2500度(dù)時(shí),石墨的抗(kàng)拉強度反而增加(jiā)一倍。
2.特殊的抗熱(rè)震性,石墨的熱膨脹性具有各向異性,因而宏觀膨脹係數不大,在溫度驟(zhòu)變的情況下,石墨的體積變化也不大,再加上其(qí)良好的導熱性能,因而石墨的抗熱震性(xìng)良好。
諸上(shàng)兩點所述,石墨熱場器件(石墨(mò)坩堝)應該能夠長時間的在高溫下穩定工作。