石墨熱場之石墨器（qì）件損（sǔn）壞的原（yuán）因

    *先我們（men）來了解石墨的有關特性

    1.耐高溫性，石墨的熔點極（jí）高，在真空為3850度，在低壓下升華，升華溫度為2200度（dù），與一般材料（liào）不同，當溫度升（shēng）高時石墨不但不軟化（huà），強度反而增高，在2500度時，石墨的抗拉強度反而增加一（yī）倍。

    2.特殊的抗熱震性，石墨的熱膨脹性具有各向異性，因而宏觀膨脹係數（shù）不（bú）大，在溫度驟（zhòu）變的情況下，石墨的體積變化也不（bú）大，再加上其良好（hǎo）的導熱性能，因而石墨的抗熱震性良好。諸上兩點所述，石墨件應該能夠長時間的在（zài）高（gāo）溫下穩（wěn）定工作。

    目前單晶矽廠家使用的（de）石墨熱場（chǎng）都（dōu）是比較成功的，一是因為石墨氈保溫，總厚（hòu）度達到100MM以上，保證了（le）徑向溫度梯度（dù）盡可能（néng）小的條（tiáo）件，二是因為熱場大，使用的坩堝一般都是在250MM以上，這樣保溫罩、保溫蓋的口徑也大了，有充分的縱向（xiàng）散熱功能，保證了晶體的縱向溫（wēn）度梯度足夠大的（de）條件，同（tóng）時加強托碗底部（bù）的保溫效果，保（bǎo）證了熔體中的縱向溫度梯度比較大的條件，這（zhè）種熱場成晶率高，有（yǒu）利單晶從頭到尾進行無位（wèi）錯生長，不必進行過多的調整，差異在成品（pǐn）率的高低和（hé）節能的效果（guǒ）不一樣，然而這些指標往往又和設備的優（yōu）良成度以及管理（lǐ）水平（píng）等綜合因素相關聯，從熱場的結構上講，有的加強了徑向保（bǎo）溫，采有碳碳複合材料來降低能耗等。

    眾所（suǒ）周知，熱（rè）場的組成部分如加熱器、三瓣堝、石墨托、熱（rè）屏等均由石墨加工而成。在生產過程中，經常能碰到加熱器（qì）件（jiàn）損壞的現象，那麽石（shí）墨器件損壞的原因是什麽，應該采取什麽樣的措施來延長石墨器件的壽（shòu）命呢？石墨器件的損壞，主要有人（rén）為和劣化兩個方麵的原因。人為方（fāng）麵隻要加強管理，強化員工防範（fàn）意識，就可以將損失降到*低（dī）點。