石墨熱場常見問題原因分析（xī）

    熱場的組成部分如加熱器（qì）、三瓣堝、石墨托、熱屏等均由石墨加工而成（chéng）。在生產過程中，經常能碰到（dào）加熱器件損壞的現象，那麽石墨器件（jiàn）損壞的原（yuán）因是什（shí）麽，應該（gāi）采取什（shí）麽樣的措施來延長石墨器件的壽命呢（ne）？石墨器件的（de）損壞，主要（yào）有人為和劣化兩個方麵的原（yuán）因（yīn）。人為方麵隻要（yào）加強管理，強化員工防（fáng）範意識，就（jiù）可以將損失降到*低點。這裏主（zhǔ）要討論劣化。*先我們來了解石墨的（de）有關特性，

    1.耐高溫性，石墨的熔點（diǎn）極高，在真空為3850度，在低壓下升華，升華溫度為2200度，與一般材料（liào）不同，當溫（wēn）度升（shēng）高（gāo）時石墨不但（dàn）不軟化（huà），強度反而（ér）增高，在2500度時，石墨的抗拉強度反而增加一（yī）倍。

    2.特殊的抗熱震性，石墨（mò）的熱膨脹性具有（yǒu）各向異性，因而宏觀膨脹係（xì）數不大，在溫度驟變的情況下，石墨的（de）體積變化也不大，再加上其（qí）良（liáng）好的導（dǎo）熱性能，因而石墨的抗熱震性良好。諸上兩點所述，石墨件應該能夠長時間的在高溫下穩定工作。

    隨著社會經濟的發展，很多單晶矽生產廠家在石墨熱場的應用都是比較（jiào）熟（shú）練的，原因是有兩點：*、石墨氈保溫效（xiào）果好，厚度達到100毫米，有效的保（bǎo）證了徑向梯（tī）度溫度可能小的條件（jiàn），第二、熱長達的原因可以是石墨坩堝的厚度達到250毫米，紮樣可以是上中下保溫桶的口徑也會足夠大，有充分（fèn）的縱向的散熱功能。眾所周知石墨坩堝使用方法上的存在的問題就會導致石墨坩堝使用時間減少，從（cóng）而也給生產商自（zì）己增加了（le）成本。

    在通常情況下，瓣（bàn）堝與其他（tā）石墨器件如保溫罩、加熱器（qì）相比（bǐ），都是同樣的材料、同一個廠家、同樣的（de）工作環境，為什麽使用壽命遠遠低於保溫罩和（hé）加熱器呢？三瓣堝的斷裂主要原因（yīn）來自於石英坩堝。

    1.由（yóu）於熔矽的密（mì）度要大於固體矽，這樣在冷卻過程（chéng）中，鍋底料會撐破石（shí）英坩堝，而石英坩堝（guō）是（shì）貼合於三瓣堝的（de），當石英（yīng）坩堝破裂而產（chǎn）生的應力大於（yú）三瓣堝承（chéng）受的應力時，三瓣堝就會斷裂，這就是為什堝底料剩餘過多會撐破（pò）三瓣堝的原因。

    2.加熱時間過長、石英坩堝（石墨坩堝）質量（liàng）不過（guò）關、原（yuán）料酸堿度未達到要求，會導（dǎo）致漏矽和滲矽，熔矽滲入三瓣堝之間的縫隙之間冷卻後一是撐壞（huài）三瓣（bàn）堝，二是使三瓣堝相互（hù）粘接，在清爐時，使其（qí）分（fèn）離有可能造成斷裂。

    3.在加熱過程中唯有三瓣堝的熱源來自兩個方麵，一是加熱器（qì）的輻射，二（èr）是來自於石（shí）英坩堝（guō）的傳導，這就（jiù）導致三瓣堝受（shòu）熱不勻，加熱時沿某些方向膨脹，沿另一些方向收（shōu）縮，從而導致三瓣堝斷裂。