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石墨(mò)熱場生(shēng)產製造中的存在的不足就會造成石墨坩堝應用時間降低

發布時間:2019-12-16 14:15:54 瀏覽:1052次


    大家都知道石墨坩堝(guō)使用說明上的存在的不足就會造(zào)成石墨坩堝(guō)應用(yòng)時間降低,進而(ér)也給製造商自身提升(shēng)了成本費,今日人們就來實際的聊一聊高純石墨熱場生產製造中的疑難(nán)問題,究竟(jìng)人們應當(dāng)如何解決。


    伴(bàn)隨著社會經濟發展的發(fā)展趨(qū)勢,許(xǔ)多單晶矽(guī)生產(chǎn)商在高純石墨熱場的運用全是較為嫻(xián)熟的,緣故是有二(èr)點:*、高純石墨(mò)氈隔(gé)熱保溫好用,薄厚(hòu)超過100mm,合理的確保了軸向係數溫度(dù)將會小的標準,第(dì)二、熱將近的緣故(gù)能夠(gòu)是石墨坩堝的薄厚(hòu)超過250mm,紮樣能夠是從上到下保溫桶的規格也會充足(zú)大,有充足(zú)的豎向的(de)熱管散熱作用。


    熱(rè)場的構成如電加熱器、三瓣(bàn)堝(guō)、高(gāo)純石墨托、熱(rè)屏等均由石墨加(jiā)工而成。在加工過程(chéng)中,常常能遇到加溫元器件毀壞的狀況,那麼高純石墨元器件毀壞的緣(yuán)故是啥,應當采用哪些(xiē)的對策來增加高純石墨元(yuán)器件的使用壽命呢(ne)?


    高純石墨元器件的毀壞,關鍵許(xǔ)多人為和劣變(biàn)2個層麵的(de)緣故。人為因素(sù)層麵要是提升管理方法,加強職(zhí)工安全意識,就(jiù)能夠將損害降至底點。這兒關鍵探討(tǎo)劣變。*先人們來掌握高純石墨的相關(guān)特點

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    1.耐熱性,高純石墨的溶點極高,在真空泵為3850度,在底壓(yā)下升化,升化溫度為2200度,與一般原材料不一樣,當溫度上升時高純(chún)石墨不僅不變軟,抗壓強度反倒提高,在2500度時,高純(chún)石墨的抗壓強度反倒增加一倍。


    2.獨特的耐熱震性,高純石墨的熱變形性(xìng)具備各種(zhǒng)各樣,因此宏觀經濟熱膨脹係數並不大,在溫(wēn)度(dù)劇變的(de)狀況下,高純石墨的容積轉(zhuǎn)變也並不大,加上其(qí)優良的傳熱性能,因此高純(chún)石墨的耐熱震性優良。


    諸上(shàng)二點上述,高純石墨(mò)件應(yīng)當可以長期的在高溫下平穩工作(zuò)中。


    在一般來說,瓣(bàn)堝與別的高純石(shí)墨元器件如隔熱保溫(wēn)罩、電加熱器對比,全是(shì)一樣的原材(cái)料、同一個生產廠家、一樣(yàng)的辦公(gōng)環境,為何使用期遠遠地小於隔熱保(bǎo)溫罩和電加熱器呢(ne)?三(sān)瓣堝的破裂(liè)關鍵緣故來源於於石英坩堝。


    1.因為熔(róng)矽的相對密度要超過固態矽(guī),那樣在製冷全過程中(zhōng),底鍋(guō)料會撐裂石英坩堝(guō),而石英(yīng)坩堝是迎合於三瓣堝的,當石英坩(gān)堝裂(liè)開而造成的地應力超過三瓣堝承擔的地應力時,三(sān)瓣堝(wō)就會破裂,這(zhè)就(jiù)是說為(wéi)何堝火(huǒ)鍋底料剩下過多(duō)就會撐裂三(sān)瓣堝的緣故。


    2.加溫時間太長、方解石坩堝品質不合格、原材料ph酸堿度未(wèi)超過規定,會(huì)造成漏矽和滲矽,熔矽滲透到三瓣堝中間的間隙中間製冷後一是撐壞三瓣堝,二是使三(sān)瓣堝互相粘合,在清爐時,使其(qí)分離出來有將會導致破裂。


    3.在加溫全過程(chéng)中惟有三瓣堝的熱原來(lái)源於2個(gè)層麵,一是電加熱(rè)器的輻射(shè)源,二是來源於於石(shí)英坩堝的傳輸,這就造成三瓣堝(guō)遇熱(rè)不均,加溫時沿一些(xiē)方位澎漲,沿另一些方位收攏,可能會導致(zhì)三瓣堝破裂。


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