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行業新聞

石墨熱場以及部件在單晶矽的製造中起(qǐ)著關鍵的載體作用(yòng)

發(fā)布時間:2019-11-15 18:29:13 瀏覽:1302次

    直拉單晶爐的熱係統,也就是所謂的熱場,是指為(wéi)了熔化矽料,並(bìng)使單晶生長保持在一定溫度下進行的整個係統。


    熱場一般包括(kuò)(石墨材料)壓環、保溫蓋(gài)、上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托杆、坩堝托盤、電(diàn)極、加(jiā)熱器、導流筒、石墨螺栓,且為了防止漏(lòu)矽,爐底、金屬電極、托杆、都設置了保護板、保護套。


    21世紀,越(yuè)來越多的用戶開始注意到石(shí)墨材料,石墨具有(yǒu)耐高溫、導電(diàn)、導(dǎo)熱性良好、潤滑性等主要特點,抗熱震性等在新能源引領未來的(de)時代,石墨熱場以及部件在單晶矽的製造中起(qǐ)著關鍵的載體作用。


    在真空爐中熱場是決定單晶矽好壞的決定因素,通過(guò)對石墨(mò)熱場的(de)了解,決定(dìng)熱場石墨(mò)組件的(de)好壞的因素有很多,其中(zhōng)石墨原(yuán)材料的選(xuǎn)擇和加工工藝上*關鍵

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    由於(yú)單晶爐石墨熱場大(dà)多是采用(yòng)等靜壓石墨來加(jiā)工,對(duì)於石(shí)墨製品加(jiā)工企業來說石墨材料要比加工工藝所(suǒ)占的比重大一些,那麽提高石墨熱場的利用率是石墨製品加工(gōng)企業都要考(kǎo)慮的問題,因此在報價給看客戶報價的時候除了考慮石墨原材料理化指標,更多的還要考慮石(shí)墨熱場(chǎng)的壽命。


    清爐是個技術活,清爐不到位,將影響到單晶的正(zhèng)常生長,輕者,無法正常生長單晶,重者,將會導致停爐,大家在清理單晶爐中應該注意到(dào)幾(jǐ)點(diǎn):


    1、盡量將噴濺到石墨部件上的矽滴(dī)去除,劣化嚴重的石墨件要向主任報告及時更換。


    2、用刷子(zǐ)和吸(xī)塵器清理各種石墨件,一定要注意清理管道的(de)重要性。


    3、石墨件要輕拿輕(qīng)放,避免石墨(mò)件受損(sǔn)。


    4、清理幹(gàn)淨的石墨件,應放在幹淨的不鏽鋼推(tuī)車上(shàng),避免二次汙染。


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